氬氣是大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)單晶硅，手套箱的保護(hù)氣，它的要求之高，是控制經(jīng)營成本必須重視的一個(gè)重要方面。
將排出含有雜質(zhì)的氬氣，除去固體雜質(zhì)，經(jīng)緩沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓，經(jīng)氬氣純化設(shè)備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在一定溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體，工業(yè)氬氣，從而達(dá)到對(duì)氬氣精制的目的。后將凈化后的氬氣送入使用地點(diǎn).
氬氣使用
1.氬氣瓶上應(yīng)貼有出廠合格標(biāo)簽，其純度≥99.95%，氣瓶中的氬氣不能用盡，瓶內(nèi)余壓不得低于0.5MPa，氬氣批發(fā)，以保證充氬純度。
2.流量計(jì)應(yīng)開閉自如，沒有漏氣現(xiàn)象。切記不可先開流量計(jì)、后開氣瓶，造成高壓氣流直沖低壓，損壞流量計(jì);關(guān)時(shí)先關(guān)流量計(jì)而后關(guān)氬氣瓶。
3.輸送氬氣的膠皮管，不得與輸送其它氣體的膠皮管互相串用，可用新的氧氣膠皮管代用，長度不超過30米。
4.檢查氬氣瓶的開關(guān)接口是否牢固密封;使檢查氣管連接是否牢固，合肥氬氣，密封。
5.氬氣瓶要立放，應(yīng)有支架支持，并放置在離明火3米以外的安全地方，班后關(guān)閉氬氣，切斷焊接電源。
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